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特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣制取方法

高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料，吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多，欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒，且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì)，除少數(shù)稀有氣體外，重慶特種氣體，幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑，以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。

電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中，與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，特種氣體哪里有，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體系統(tǒng)：簡單供氣系統(tǒng)

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，特種氣體公司，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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