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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，特種氣體多少錢(qián)，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求

特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應(yīng)采用全自動(dòng)軌道焊機(jī)焊接，特種氣體廠商，高純氬氣保護(hù)。安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專(zhuān)項(xiàng)施工方案，并經(jīng)過(guò)業(yè)主審批后實(shí)施。主要設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供必要資料：產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書(shū)、性能測(cè)試報(bào)告；產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件；產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專(zhuān)用工具。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-背壓法，背壓法的檢漏首要應(yīng)用于各種電子元器件產(chǎn)品檢漏。該辦法檢測(cè)靈敏度高，合肥特種氣體，能完成小型密封容器產(chǎn)品的走漏檢測(cè)，能夠進(jìn)行批量化檢測(cè)。可是不能進(jìn)行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，特種氣體價(jià)格，導(dǎo)致加壓時(shí)刻太長(zhǎng)。此外，每個(gè)丈量漏率都對(duì)應(yīng)兩個(gè)等效規(guī)范漏率，在細(xì)檢完成后還需求選用其它辦法進(jìn)行粗檢，掃除大漏的或許。

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