安徽譜純 貨源足(圖)-特種氣體供應商-重慶特種氣體：

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特種氣體系統(tǒng)工程施工的一般性要求

特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管應采用全自動軌道焊機焊接，高純氬氣保護。安裝和試驗檢測用計量器具應檢定合格并在有效期內(nèi)使用。特種氣體系統(tǒng)工程施工前必須編制專項施工方案，并經(jīng)過業(yè)主審批后實施。主要設(shè)備材料進場應提供必要資料：產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書、性能測試報告；產(chǎn)品安裝、使用、維護和試驗要求等技術(shù)文件；產(chǎn)品規(guī)格、型號、數(shù)量、設(shè)備附件及專用工具。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，重慶特種氣體，采用1先進的工藝制程設(shè)備，工業(yè)特種氣體供應商，用氣需求量大，哪里可以買到特種氣體，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計

氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成普通排風系統(tǒng)（GEX）、酸性排風系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風系統(tǒng)（AEX）。普通排風系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風管，酸性排風一般采用玻璃鋼風管，溶劑和氨氣排風一般采用不銹鋼風管。氣柜的排風也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風系統(tǒng)。

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