安徽譜純氣體公司(圖)-特種氣體公司-合肥特種氣體：

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電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中，與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體系統(tǒng)：常規(guī)供氣系統(tǒng)

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，特種氣體廠商，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸睦镉刑胤N氣體廠家，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類。              

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣制取方法

高純氯的生產(chǎn)方法仍以工業(yè)氯為原料，吸附凈化。工業(yè)液1氯中的雜質(zhì)含量較多，合肥特種氣體，欲制得高純氯必須把原料氯中的H2O、O2、N2、CO2、CO、H2、CH4等除去，特種氣體廠，除H2O外其余雜質(zhì)的沸點(diǎn)均低于氯，故用物理吸附法除去H2O和CO2；冷凝分離法除去O2、N2、H2、CO、CH4等。但氯不僅劇1毒，且具有強(qiáng)氧化、強(qiáng)腐蝕的異常活潑的化學(xué)性質(zhì)，除少數(shù)稀有氣體外，幾乎能與所有元素形成化合物。因此要篩選不受氯腐蝕、不與氯起化學(xué)反應(yīng)的干燥劑、吸附劑，以及這些吸附劑的化學(xué)處理、再生等。

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