安徽譜純氣體公司(圖)-工業(yè)特種氣體-上海特種氣體：

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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，工業(yè)特種氣體供應(yīng)商，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，上海特種氣體，布置緊湊合理，特種氣體公司，給人簡(jiǎn)單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。

電子特種氣體的介紹

電子特種氣體和半導(dǎo)體、平板顯示、傳感器等電子元器件制造業(yè)息息相關(guān)，與濕電子化學(xué)品一樣是電子元器件的上游原材料之一。其廣泛應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝中，與生產(chǎn)設(shè)備配套使用。特別是在超大規(guī)模集成電路工廠的晶圓片制造過程中，全部工藝步驟超過450道，其中大約要使用50種不同種類的電子氣體。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點(diǎn)

分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

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