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特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

GMS和GDS系統(tǒng)

氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS)通過計算機網(wǎng)絡，實現(xiàn)對氣體輸送系統(tǒng)的實時監(jiān)控，以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

氣體偵測系統(tǒng)（GDS）是全廠生命安全系統(tǒng)（LSS）的重要組成部分。對于偵測器的要求，除了精度高，特種氣體上市公司，反應迅速外，還應具備自檢功能。對于這兩個系統(tǒng)在這里只能做一個概念性的介紹。

后、充分了解氣體特性、從而合理配置系統(tǒng)，合理選擇管徑和材料，是我們設計的重點，這樣可顯著降低整個系統(tǒng)的成本。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

輔助系統(tǒng)的設計

氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

排風系統(tǒng)和放空系統(tǒng)也是特氣系統(tǒng)的重要組成部分。其排風系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成普通排風系統(tǒng)（GEX）、酸性排風系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風系統(tǒng)（AEX）。普通排風系統(tǒng)采用鍍鋅鐵皮風管，酸性排風一般采用玻璃鋼風管，溶劑和氨氣排風一般采用不銹鋼風管。氣柜的排風也是根據(jù)其性質(zhì)接入上面不同的排風系統(tǒng)。

特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務系統(tǒng)的設計范疇，而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應。

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