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特種氣體系統(tǒng)：

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 .

輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝猓蕴貧夤裥柙O(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻?/p>

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>

       

特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場(chǎng)施工的幾個(gè)注意點(diǎn)

架設(shè)到管架上的管道，在焊接作業(yè)開始后就要采取不間斷充氣的方式，高純度特種氣體多少錢，即從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護(hù)的狀態(tài)，但在不進(jìn)行焊接作業(yè)時(shí)可適當(dāng)調(diào)小管內(nèi)氣壓。但對(duì)要求不是很高的施工，為了降低成本，每天的焊接結(jié)束后，把兩端用管帽和潔凈膠帶封死。在這里要特別提出的是對(duì)輸送強(qiáng)腐蝕性氣體的耐腐蝕性強(qiáng)的VM管進(jìn)行對(duì)接施焊時(shí)，其充氣時(shí)間必須要達(dá)到4-5分鐘，而且必須不間斷充氣。

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