東莞高純度特種氣體供應(yīng)-安徽譜純：

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特種氣體系統(tǒng)：

主管路系統(tǒng)的設(shè)計

對于低蒸汽壓氣體（WF6，高純度特種氣體供應(yīng)，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精1確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質(zhì)量流量計，壓力調(diào)節(jié)閥。對于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時管道的設(shè)計要采用零死區(qū)設(shè)計，即整個管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點，要點對點，中間不允許有在氣體置換時有殘留空氣的死角。因此，整個管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

輔助系統(tǒng)的設(shè)計

氣體柜或控制面板在安裝和運輸?shù)倪^程中由于搬運和震動，閥門、接頭、過濾器等的更換、或其他原因、需要對其重新進行高壓氣密性試驗和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮氣或氦氣，所以特氣柜需設(shè)計接入高壓惰性氣體氦氣或氮氣。一般選擇在特氣房設(shè)置一臺或多臺惰性氣體柜。

特氣柜中裝有各種氣體驅(qū)動閥，主管路在送氣前必須進行管道的吹掃和空氣的置換，所以還需輔助有高純氮氣和潔凈壓縮空氣系統(tǒng)。氮氣系統(tǒng)采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管徑根據(jù)氣柜的多少來計算決定。

特種氣體的作用：

1、做保護介質(zhì)，通常使用氦氣、ya氣、氮氣用于高純凈、超絕緣、超導(dǎo)等。

2、檢測及比較介質(zhì)，通常會根據(jù)使用的儀器配制標(biāo)準(zhǔn)氣體，用于質(zhì)譜儀、氣相色譜儀、核測、報警、檢漏、醫(yī)1療、電子、原子吸收、化學(xué)檢驗等。

3、能量介質(zhì)，主要用到氫氣、氧氣等，是航空航天的重要燃料。

4、切割、焊接的介質(zhì)，應(yīng)用于電光源工業(yè)、玻璃制造、機械加工、航空航天1、基礎(chǔ)建設(shè)等。

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