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特種氣體管道

氣體滲透性：

氣體從壓力(或分壓力)高的一側(cè)透過材料向壓力(或分壓力)低的一側(cè)流入的現(xiàn)象成為氣體滲透。 因?yàn)榭諝庵醒鯕夂偷獨(dú)夥謮毫?大、氣體分子相對較小，管道材料對氣體的滲透性主要表現(xiàn)氧氣和氮?dú)獾臐B透 ， 一般對氧氣的滲透測試比較多。

特氣管道試壓

　　1、管道試壓前應(yīng)全1面檢查、核對已安裝的管子、管件、閥門、緊固件以及支架等，質(zhì)量應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求及技術(shù)規(guī)范的規(guī)定。

　　2、管道試壓應(yīng)編制試驗(yàn)方案，根據(jù)工作壓力分系統(tǒng)進(jìn)行試壓。一般對于同向大氣的無壓管線，沈陽特種氣體，如放空管、排液管等可不進(jìn)行試壓。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工

管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后，主管路系統(tǒng)一般遵循管道線路1短，拐彎少，特種氣體批發(fā)廠，布置緊湊合理，給人簡單美觀的感覺。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。

特種氣體:高純氯1氣

高純氯1氣應(yīng)用

高純氯1氣主要用于液晶平板顯示器、光纖和半導(dǎo)體行業(yè)，被用作蝕刻氣體和脫水劑，而其中光纖行業(yè)用量較大。光纖1主要參數(shù)是損耗，無論是石英光纖還是浮化玻璃光纖中的損耗，主要是由OH-陰離子、過渡金屬離子和稀土金屬離子引起的。因?yàn)楣馍⑸洹⒐馕罩饕怯蒓H-產(chǎn)生的，所以必須脫除光纖中的OH-離子。為了降低損耗，處需要光纖制造系統(tǒng)精良和所有原材料純度高外，電子特種氣體要多少錢，其關(guān)鍵是在制造光纖工藝中通入高純氯1氣，有效除去OH-離子。因此，高純氯1氣是生產(chǎn)光纖不可或缺的原材料。

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