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特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動PLC控制器，哪家特種氣體公司專業(yè)，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，特種氣體批發(fā)廠，自動真空輔助放空；多重安全防護措施，泄漏偵測，遠程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。

       

特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點

現(xiàn)場的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，東莞特種氣體，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準(zhǔn)確，特種氣體批發(fā)哪家好，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁；拆除包裝的管道，預(yù)制好的管道，管口是不是封好；（管道封口應(yīng)套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好；如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。）焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。

特種氣體存放

針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計范疇，而是歸屬制程機臺設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應(yīng)。

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