




在半導(dǎo)體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,深圳特種氣體,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積,特種氣體公司,擴散等過程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,特種氣體價格多少,又可稱為電子特種氣體。
電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標和成品率,并且從根本上制約著電路和器件的精1確性和準確性。
半導(dǎo)體照明是正處于方興未艾的產(chǎn)業(yè),隨著化合物半導(dǎo)體市場的擴展,特種氣體的需求呈現(xiàn)更大的增長態(tài)勢,特種氣體廠家直銷,外延生長需要大量的超純源和過程氣體。應(yīng)用于半導(dǎo)體技術(shù)中的特種氣體因為其種類繁多品質(zhì)要求嚴格,生產(chǎn)、充裝、運送、儲存都有技術(shù)及安全的要求,再加上經(jīng)濟規(guī)模等因素,需要多方面的積累才能實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn),因此目前國內(nèi)呈現(xiàn)現(xiàn)市場大、供應(yīng)能力小的局面。

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細分領(lǐng)域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國空氣化工、美國普萊克斯、德國林德集團、法國液化空氣和日本大陽日酸株式會社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場份額。

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