




特種氣體的發(fā)展趨勢(shì)也伴隨光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展不斷更新、進(jìn)步。主要表現(xiàn)為產(chǎn)品品種的不斷增加,新型半導(dǎo)體材料的出現(xiàn),代之而來的是新一代支撐材料的需求,特種氣體生產(chǎn)廠家緊緊圍繞下游芯片廠的需求,不斷推出符合半導(dǎo)體工藝的新品種;同時(shí)特種氣體質(zhì)量不斷提高,以LED產(chǎn)業(yè)用量1大的氨氣為例,高純氨產(chǎn)品的純度由初的技術(shù)指標(biāo)要求電子級(jí)(5N)到兆位一級(jí)(5.5N)、兆位二級(jí)(5.7N)發(fā)展到市場(chǎng)廣泛應(yīng)用在氮化jia生產(chǎn)中的藍(lán)氨(6.4N),目前氮化jia技術(shù)需求的高純氨技術(shù)指標(biāo)純度超過99.99999%,佛山特種氣體,業(yè)界已經(jīng)認(rèn)可的白氨已經(jīng)完全商品化;由于產(chǎn)品中雜質(zhì)如水份、碳?xì)浠衔锏暮吭谔胤N氣體純度中都有嚴(yán)格限制,但絕大多數(shù)特殊氣體因化學(xué)活性大,所以不容易保持其純度,因此氣體的純度、供氣系統(tǒng)的保證便成為半導(dǎo)體廠要求品質(zhì)和經(jīng)濟(jì)性的關(guān)鍵。為避免化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中頻繁更換過程氣體瓶,保證盡可能少引入雜質(zhì),特種氣體批發(fā)公司,氣體的充裝容器規(guī)格趨向大體積,產(chǎn)品包裝的集裝化,在具備條件的工廠還可以直接建設(shè)氣體輸送管道,保證特種氣體的供應(yīng)質(zhì)量穩(wěn)定。

氣瓶柜 gas cabinet (GC)
特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。
氣瓶架 gas rack (GR)
特種氣體使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。

特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的許多方面 , 它在石油化工 、環(huán)境保護(hù) 、醫(yī)1藥衛(wèi)生等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大 的作用 。我國特種氣體經(jīng)過 20 多年的發(fā)展 , 在廣大特氣工作者不懈的努力下 , 無論在氣體品種上 ,特種氣體報(bào)價(jià), 高純石油化工氣體是配制標(biāo)準(zhǔn)氣體必需的原 還是在數(shù)量上 , 都以前所未有的速度發(fā)展 , 生產(chǎn)的 料 ,特種氣體批發(fā), 它的質(zhì)量好壞 、價(jià)格高低 , 直接決定了標(biāo)準(zhǔn)氣 品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求 , 從事特種氣體研究的人數(shù)也在不斷攀升 , 形成了不可忽視的行業(yè)力量 , 我國特種氣體依賴于進(jìn)口的狀況 , 已成為歷史 。

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