佛山氣體-特種氣體-安徽譜純：

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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，哪里供應(yīng)氣體，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴(kuò)散等過(guò)程中使用的各種化學(xué)氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。

電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對(duì)芯片質(zhì)量有很大的影響。

電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過(guò)程的特殊材料，氣體公司，之所以稱之為“特殊”，因?yàn)樗鼈円蟪兂瑑簦掖蟛糠钟卸靖蛘咭兹嫉刃再|(zhì)。對(duì)雜質(zhì)的要求，氣體圈子任路先生這樣說(shuō)道，1個(gè)PPB的SPEC要求，氣體哪家好，相當(dāng)于對(duì)雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個(gè)足球場(chǎng)的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個(gè)shai子(1cm長(zhǎng)寬高的)雜質(zhì)！

特種氣體興起于60年代中期，作為基礎(chǔ)化工材料，主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)學(xué)科學(xué)、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圍也越來(lái)越廣泛。

自80年代1開(kāi)始，我國(guó)的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，佛山氣體，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問(wèn)世，其品種數(shù)目已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相近。氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一，它涉及到國(guó)民經(jīng)濟(jì)的各個(gè)領(lǐng)域、涉及到人民的日常生活，牽動(dòng)著高科技的發(fā)展。

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