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電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運輸和儲存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm，煙臺特種氣體，無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法，對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)基礎(chǔ)工業(yè)之一，覆蓋社會生產(chǎn)的各個領(lǐng)域，受益于國民生活，牽動著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，哪里有特種氣體，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。隨著中國經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展，特種氣體在國民經(jīng)濟(jì)中的重要地位和作用日益凸顯。主要體現(xiàn)在煉油行業(yè)、冶金行業(yè)、電子器件、環(huán)保產(chǎn)業(yè)。在冶金工業(yè)中，氫氣主要用做還原氣，以便將金屬氧化物還原成金屬。

據(jù)相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計，目前我國特種氣體年銷售額中，電子行業(yè)約占40%，石油化工約占40%；醫(yī)1療環(huán)保約占10%，其它約占10%。以電子氣體為例，電子氣體是指用于半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的氣體。隨著我國高新技術(shù)、新型能源、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件的迅猛發(fā)展，將帶動電子特種氣體的發(fā)展。

電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱電子氣體，指在半導(dǎo)體及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中所用到的高純度氣體，特種氣體批發(fā)廠家，是微納電子制造國家安全戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵支撐材料，其廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路、液晶顯示器、多晶硅和薄膜太陽能電池、新型電光源、光電半導(dǎo)體器件以及光纖通訊器件等電子行業(yè)。

近年來，特種氣體供應(yīng)商，隨著微納電子先進(jìn)制程向大尺寸、窄線寬、高集成度、高均勻性和高完整性發(fā)展，對電子氣體的純度和一致性要求越來越高，除了應(yīng)具有5 N (99.999%)以上純度，還要求電子氣體中的H2O、氣體雜質(zhì)(如O2、CO2、CO、CH4等)和金屬雜質(zhì)(如Al、Cr、Cd、Cu等)的指標(biāo)達(dá)到ppb (10?9)至ppt (10?12)數(shù)量級，氣體的品質(zhì)要求高度穩(wěn)定且一致。

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