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特種氣體(Specialty gases)是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。

特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)，是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險(xiǎn)性大的氣體，因此，特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。特種氣體按性質(zhì)分類(lèi):腐蝕性氣體、易燃性氣體、氧化氧氣體、惰性氣體、有毒性氣體。

半導(dǎo)體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量，電子氣體純度每提高一個(gè)數(shù)量級(jí)，特種氣體批發(fā)廠(chǎng)家，都會(huì)極大地1推動(dòng)半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍，特種氣體多少錢(qián)，正因如此，發(fā)達(dá)國(guó)家都在積極發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展，而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域，且發(fā)展勢(shì)頭強(qiáng)勁，特種氣體批發(fā)價(jià)格，它影響到國(guó)民經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的許多方面，因此，有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國(guó)際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣，我國(guó)電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚，資金投入量也顯得相對(duì)不足。改革開(kāi)放以來(lái)，太原特種氣體，中國(guó)政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國(guó)家重點(diǎn)發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，因此，電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

我國(guó)特種氣體生產(chǎn)技術(shù)與國(guó)外的差距

論述了工業(yè)用標(biāo)準(zhǔn)氣，環(huán)保氣，大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、非晶硅太陽(yáng)電池制造用電子氣，MOCVD的源材料—金屬有機(jī)化合物，以及電子氣配套器件國(guó)內(nèi)科研、生產(chǎn)和制造的技術(shù)水平及其與國(guó)外的差距，指出配套器件技術(shù)水平與國(guó)外的差距比特種氣體技術(shù)水平與國(guó)外的差距還要大，僅約相當(dāng)于國(guó)外70年代中末期水平，而標(biāo)準(zhǔn)氣約相當(dāng)于國(guó)外80年代初中期水平，電子氣則相當(dāng)于國(guó)外80年代初期水平。特氣生產(chǎn)技術(shù)關(guān)鍵是氣體純化技術(shù)及高純或瞄蝕性氣體包裝技術(shù)等。為加速電子氣國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程，提出了6項(xiàng)政策性措施。

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