




電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體
隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展,國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面,也已進(jìn)入在線分析階段,且分析檢測的靈敏度高,可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而,由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量,特種氣體供應(yīng)商,一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化,哪里有特種氣體,即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中,以該溶液為樣品,才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級,因此,對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,寧波特種氣體,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國空氣化工、美國普萊克斯、德國林德集團(tuán)、法國液化空氣和日本大陽日酸株式會社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場份額。

特種氣體種類也很多,主要分為四類,即高純氣體、零點氣體、標(biāo)準(zhǔn)混合氣體以及一般混合氣體。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,特種氣體批發(fā),對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。化工特種氣體在不同的情況下是不一樣的,一般而言是氧氣,氮氣,二氧化碳,氫氣等。特種氣體有很多種,若說泛指各種鋼瓶裝的氣體用途很廣無法細(xì)說,就我專注的電子氣體來說一說好了,電子氣體指是用在半導(dǎo)體、面板、LED、太陽能制造時用的氣體.

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