




隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展,特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,從應(yīng)用領(lǐng)域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。
近年來,隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展,特種氣體的品種也與日俱增,據(jù)不完全統(tǒng)計,我國已有的特種氣體達(dá)260余種。隨著非低溫氣體分離技術(shù)(吸附、膜分離)、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展,更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅1烷、磷烷等),氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟1化硅等),碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙1烷等)。目前,我國電子氣體品種基本齊全,特種氣體銷售,但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國家相比,尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展,對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的血液,有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的糧食,還有人說電子特氣是電子工業(yè)體系的腦細(xì)胞,這些都說明了電子氣體對于集成電路生產(chǎn)的重要性,無疑是集成電路制造所需要的關(guān)鍵材料。
面對如此的大好形勢,特種氣體公司如雨后春筍般的遍地崛起,根據(jù)氣體圈子統(tǒng)計,高純氨企業(yè)已經(jīng)在生產(chǎn)的和新項目立項確定的就有15家,笑氣的生產(chǎn)企業(yè)和立項已經(jīng)確定的有17家,三氟化氮生產(chǎn)企業(yè)未來也有近10家。這些企業(yè)大體分為三類,第1類是之前就從事特種氣體生產(chǎn)研究的企業(yè),第二類是由工業(yè)氣體企業(yè)轉(zhuǎn)型而來,第三類是非氣體行業(yè)的“慕名而來”,氣體圈子認(rèn)為國產(chǎn)化更多時候PK的應(yīng)該是質(zhì)量而非數(shù)量。

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,呼和浩特特種氣體,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。
特種氣體 (Specialty gases) :指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,特種氣體出售, 對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。特種氣體門類繁多, 通常可區(qū)分為電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣、環(huán)保氣、醫(yī)用氣、焊接氣、殺菌氣等, 廣泛用于電子、電力、石油化工、采礦、鋼鐵、有色金屬冶煉、熱力工程、生化、環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)學(xué)研究及診斷、食品保鮮等領(lǐng)域。

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