




高純氣體輸送及儲運也是影響電子氣體質量的關鍵因素。超高純氣體的生產和應用要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、相應的氣體輸送管線、閥門和接口,要求相應器件耐高壓、耐高真空,對于腐蝕性氣體要求耐腐蝕,以避免二次污染的發(fā)生。隨著氣體純度的提高、產品種類的增多,對包裝容器的要求也越來越高,生產特種氣體廠家,對于氣瓶內壁處理技術以及氣密性好無污染的閥門、減壓器、過濾器等的研制提出了較高要求。

1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設備、管道和部件的總稱。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備,特種氣體公司,并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。

在LED產業(yè)鏈中,特種氣體價格多少,外延技術、設備和材料是外延片制造技術的關鍵。當前MOCVD工藝已成為制造絕大多數光電子材料的基本技術。外延技術需要的超純特種氣體包括高純shen烷、高純磷烷、高純氨氣,shen化jia生產中應用硅1烷N型摻雜,而氯化1氫和氯1氣常常用做蝕刻氣,濟寧特種氣體,ya、氫、氮則是必須的載氣。同時外延生長需要的有機源主要是三甲1基jia,三甲1基銦,三甲1基鋁,二乙基鋅,二甲1基鋅,二茂鎂等。現有技術的發(fā)展對這些產品的品質要求也越來越高。

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