




電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體
隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展,國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面,特種氣體批發(fā)廠家,也已進入在線分析階段,且分析檢測的靈敏度高,特種氣體供應商,可以實現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而,由于一些氣態(tài)樣品不能直接導入分析儀器進行金屬成分的測量,一般需要把氣體樣品先進行液體化,即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中,以該溶液為樣品,才能選定合適的檢測手段進行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級,因此,對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,烏魯木齊特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè) 電子氣體的應用領域主要在半導體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯 示器件、光導纖維生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)。半導體工業(yè)用氣體的特點是品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。

特種氣體中單元高純氣體的品種及用途
特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻,匯總起來共有227種,可分成五個類別: 一、電子氣體,共85種(序號1~85),特種氣體廠家,占總數(shù)的36.3%; 二、有機氣體,共61種(序號86~146),占總數(shù)的27.8%; 三、無機氣體,共35種(序號147~181),占總數(shù)的15.5%;

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