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準(zhǔn)分子激光（英文：Excimer laser）是一種紫外氣態(tài)激光，處于激發(fā)態(tài)的稀有氣體和另一種氣體（稀有氣體或鹵素）結(jié)合的混合氣體形成的分子，向其基態(tài)躍遷時(shí)發(fā)射所產(chǎn)生的激光，稱為準(zhǔn)分子激光。準(zhǔn)分子激光屬于低能量激光，無熱效應(yīng)，是方向性強(qiáng)、波長純度高、輸出功率大的脈沖激光，光子能量波長范圍為157－353納米，廣州準(zhǔn)分子預(yù)混氣，壽命為幾十納秒，屬于紫外光。常見的波長有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

準(zhǔn)分子激光是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以被稱為準(zhǔn)分子，是因?yàn)樗皇欠€(wěn)定的分子，而是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)后，所引起的一系列物理及化學(xué)反應(yīng)中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子，其壽命僅為幾十毫微秒。據(jù)科益虹源副總經(jīng)理江銳介紹，自主研發(fā)的準(zhǔn)分子激光器主要分為上、中、下三層，每一層的作用都不盡相同。上層叫做高壓脈沖電源（分）系統(tǒng)，主要提供激光轉(zhuǎn)化所需的電子能量，是一個(gè)高強(qiáng)度的電子能量，所以這是一個(gè)強(qiáng)電模塊；中間是關(guān)鍵的光學(xué)核心模塊，準(zhǔn)分子預(yù)混氣出售，它是把高壓的電能轉(zhuǎn)化成高強(qiáng)度的光能；底下的就是關(guān)鍵的控制模塊和一些支撐模塊，包括配水、配氣等等，也可以說是整臺(tái)激光器的“大腦”，控制著整臺(tái)激光器的運(yùn)作。

準(zhǔn)分子激光器發(fā)展面臨的主要任務(wù)是提高輸出能量(或者，在激光核聚變的情況是提高峰值功率)和改進(jìn)光束質(zhì)量。新近為了達(dá)到這些目標(biāo)而發(fā)展的一個(gè)方法是使用X光預(yù)電離拉長放電激勵(lì)脈沖寬度。對(duì)于需要較短脈寬的核聚變，準(zhǔn)分子預(yù)混氣銷售，正在設(shè)計(jì)壓縮脈寬的幾種新技術(shù)。對(duì)其他應(yīng)用，則通過在準(zhǔn)分子激光介質(zhì)中放大倍頻和三倍頻染料激光達(dá)到紫外窄帶寬高能輸出。 歷史 自從1975年發(fā)現(xiàn)稀有氣體鹵化物準(zhǔn)分子激光器以來，它已經(jīng)成為在特定紫外波長上產(chǎn)生高功率輻射的主要激光器。

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