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特種氣體中單元高純氣體的品種及用途

特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體，另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體，根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn)，匯總起來共有227種，可分成五個(gè)類別: 一、電子氣體，特種氣體多少錢，共85種(序號(hào)1～85)，占總數(shù)的36.3％; 二、有機(jī)氣體，共61種(序號(hào)86～146)，占總數(shù)的27.8％; 三、無機(jī)氣體，共35種(序號(hào)147～181)，占總數(shù)的15.5％;

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國(guó)外對(duì)高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個(gè)階段。我國(guó)在高純氣體分析方面，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測(cè)的靈敏度高，特種氣體出售，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測(cè)試 。然而，安徽特種氣體，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測(cè)量，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測(cè)手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級(jí)，因此，對(duì)測(cè)定時(shí)使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測(cè)方法以及分析測(cè)試儀器(靈敏度和檢測(cè)限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測(cè)方法。

應(yīng)用于LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體

半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類，主要包括：

      1、硅族氣體：含硅基的硅3烷類，如硅3烷、二氯二氫硅、乙硅1烷等

      2、摻雜氣體：含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體，特種氣體銷售，如三氯化硼、3氟化3硼、磷烷、shen烷等。

      3、蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如氯1氣、三氟化氮、xiu化氫、四氟化碳、六氟乙1烷等。

      4、反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

      5、金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢、三甲1基jia。

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