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半導(dǎo)體器件性能的好壞，在很大程度上取決于所用電子氣體的質(zhì)量，電子氣體純度每提高一個數(shù)量級，都會極大地1推動半導(dǎo)體器件質(zhì)的飛躍，正因如此，發(fā)達國家都在積極發(fā)展具有自主知識產(chǎn)權(quán)的電子化學(xué)氣體，并且取得了明顯的效果，由于電子氣體質(zhì)量決定著ic技術(shù)的發(fā)展，而半導(dǎo)體器件又廣泛地應(yīng)用于民用和軍1工領(lǐng)域，且發(fā)展勢頭強勁，它影響到國民經(jīng)濟和國防的許多方面，因此，有關(guān)電子氣體的生產(chǎn)、凈化、包裝、分析等在國際上多屬高度保密的技術(shù)。同光電子、微電子工業(yè)一樣，我國電子氣體的研究與生產(chǎn)起步較晚，資金投入量也顯得相對不足。改革開放以來，中國政府已將ic產(chǎn)業(yè)列為國家重點發(fā)展的支柱產(chǎn)業(yè)，因此，電子工業(yè)、光電子產(chǎn)業(yè)、光纖制造業(yè)發(fā)展迅猛。

特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進步以滿足純度的要求，以實現(xiàn)氣體的市場價值。在這三種分離技術(shù)中，精餾技術(shù)的操作比較復(fù)雜，目前精餾的汁算還處在半經(jīng)驗狀態(tài)，廣東特種氣體，但分離的氣體產(chǎn)品的純度能滿足市場上各種氣體的純度要求；吸附分離技術(shù)還有待于吸附劑的發(fā)展；膜分離技術(shù)是較新的分離模式，特種氣體批發(fā)廠家，它的發(fā)展很快，已經(jīng)對精餾技術(shù)和吸附分離技術(shù)造成了不同程度的威脅。總之，這三種方法各有優(yōu)缺點，適應(yīng)不同的場合，滿足不同的要求，特種氣體批發(fā)公司，為特種氣體的分離做出各自的貢獻。

新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，特種氣體廠家直銷，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國際競爭力。

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