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電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運(yùn)輸和儲存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除，鄭州特種氣體，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm，無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測方法，對高純氣體的生產(chǎn)、儲存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

特種氣體(Specialty gases)是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，電子氣特種氣體，對氣體有特殊要求的純氣、高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。

特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè)，特種氣體供應(yīng)，是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料，它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險(xiǎn)性大的氣體，因此，特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。特種氣體按性質(zhì)分類:腐蝕性氣體、易燃性氣體、氧化氧氣體、惰性氣體、有毒性氣體。

提高特種氣體穩(wěn)定性

為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。EIGA 161/16第11段概述了一些常用技術(shù)。它建議：

“氣瓶應(yīng)通過適當(dāng)?shù)募訜岷统檎婵栈蚱渌刃Х椒ㄟM(jìn)行干燥。應(yīng)盡量減少氣瓶中的水分，并通過分析或其他方法確定濃度。“

這可以通過以下方式實(shí)現(xiàn)：

將惰性干燥氣體引入氣缸中，壓力約為10 barg

在幾個小時內(nèi)讓氣體與氣瓶平衡

測量存在的水分濃度，和

重復(fù)該過程直至達(dá)到所需的干燥程度。

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