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顯而易見(jiàn)，準(zhǔn)分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、不可燃的惰性稀有氣體，濟(jì)寧準(zhǔn)分子預(yù)混氣，除非大量釋放到密閉空間會(huì)引起窒息外，對(duì)人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害主要的做法還是通風(fēng)，增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對(duì)流。

除了稀有氣體之外，準(zhǔn)分子激光氣中的F2是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準(zhǔn)分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進(jìn)行供應(yīng)，這些預(yù)混氣的F2濃度都在1%以下，但足以對(duì)人體健康構(gòu)成威脅，尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準(zhǔn)分子激光氣，使用的是5%F2+95%He，準(zhǔn)分子預(yù)混氣銷售，這類型的氣體對(duì)人體的危害更為嚴(yán)重。

從50年代初以來(lái)，準(zhǔn)分子激光氣提供的成為極1佳的激光介質(zhì).準(zhǔn)分子不存在基高功率、短波長(zhǎng)紫外脈沖一直應(yīng)用于科學(xué)態(tài)，一旦產(chǎn)生應(yīng)成為布居反轉(zhuǎn).當(dāng)躍遷到基醫(yī)學(xué)和工業(yè)部門.盡管使用強(qiáng)腐蝕性的鹵素 態(tài)或非束縛態(tài)，過(guò)程通常是放能的，準(zhǔn)分子氣體，但現(xiàn)在準(zhǔn)分子激光器堅(jiān)固耐用，能夠激光器發(fā)射紫外激光，因而使它在醫(yī)學(xué)、光滿足各種工業(yè)應(yīng)用的需要.到90年代，在光 刻以及其它領(lǐng)域的某些應(yīng)用中特別有用.刻和材料加工方面，供應(yīng)準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家，準(zhǔn)分子激光器越來(lái)越重，常用的準(zhǔn)分子是稀有氣體和鹵化物的要.同時(shí)，新的應(yīng)用不斷增長(zhǎng):用倍頻方法 分子，包括 ArF、ItrF、XeF和 XeCI.活把準(zhǔn)分子激光輸出推進(jìn)到x射線區(qū);加工出 性氣體以百分之幾的低濃度引人激光腔，準(zhǔn)分子預(yù)混氣生產(chǎn)廠家，與的衍射光學(xué)元件用于光子計(jì)算機(jī);以及用于 緩沖氣體 He或 Ne混合，腔中總壓通常小干人類jiao膜整1形等.

準(zhǔn)分子激光治1療機(jī)用于產(chǎn)生193nm波長(zhǎng)紫外激光的工作氣體是凡/Ar/He/Ne的預(yù)混氣。在這些氣體中，氟氣毒性很強(qiáng)，能引起肺1水腫，致命的呼吸系統(tǒng)損害，刺激眼睛和鼻粘膜，因此，要引起高度重視。氟氣泄漏時(shí)有明顯的、彌漫性的臭味。無(wú)論何時(shí)，當(dāng)氟氣泄漏時(shí)，應(yīng)立即關(guān)掉預(yù)混氣氣瓶閥，然后進(jìn)行適當(dāng)?shù)臏y(cè)量。氟氣泄漏討可用如下方法探測(cè): (l)當(dāng)千萬(wàn)分之二的氟氣存在于空氣當(dāng)中，就會(huì)有明顯的、彌漫性的特殊臭味，可以嗅到。 (2)大于百萬(wàn)分之一的氟氣存在時(shí)，撒上氨水就會(huì)產(chǎn)生白色羽毛狀的物體。 (3)百萬(wàn)分之一的氟氣存在，可使蘸有5%的碘化鉀溶液的白色濾紙變?yōu)樽厣７椒ㄊ?用白色濾紙蘸透5%的碘化鉀液體后，放置在機(jī)器排氣管接頭處或側(cè)蓋縫隙里，待濾紙晾干后看是否變?yōu)樽厣绻優(yōu)樽厣瑒t證明氟氣漏出。

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