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特種氣體興起于60年代中期，作為基礎(chǔ)化工材料，主要運(yùn)用于大型石油化工、半導(dǎo)體器件、光導(dǎo)纖維、激光、醫(yī)1學(xué)科學(xué)、臨床診斷、醫(yī)1藥消毒、水果催熟、食品保鮮等領(lǐng)域。隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展，其應(yīng)用范圍也越來越廣泛。在國(guó)民經(jīng)濟(jì)高速發(fā)展及下游1行業(yè)的強(qiáng)勁需求下，我國(guó)特種氣體行業(yè)在2006年后進(jìn)入快速發(fā)展階段，特種氣體批發(fā)，年均增速達(dá)到17%以上。2011年，國(guó)內(nèi)特種氣體行業(yè)產(chǎn)值規(guī)模為296.88億元，較上年增長(zhǎng)22.15%；銷售收入為297.52億元，較上年增長(zhǎng)21.64%。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場(chǎng)需求

　　目前，全球每年對(duì)高純電子氣體的需求速度遞增，特種氣體哪家好，2009年全球LED用高純度特種氣體市場(chǎng)規(guī)模已達(dá)20億美元。美國(guó)Air Product、Praxair、德國(guó)Linder、法國(guó)Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場(chǎng)占有壟斷地位，年產(chǎn)能高達(dá)數(shù)千噸。

　　近年來隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展，特別是氮化jia技術(shù)的突破，對(duì)特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來愈高。越來越多的生產(chǎn)廠家和用戶開始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對(duì)生產(chǎn)、銷售和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益帶來的影響。

電子氣體中的金屬雜質(zhì)主要來源于：1) 生產(chǎn)環(huán)境和制造過程中引入的微量金屬雜質(zhì)；2) 氣體運(yùn)輸和儲(chǔ)存過程中機(jī)械帶入的金屬雜質(zhì)；3) 使用過程中外界環(huán)境引入的金屬污染。這些金屬雜質(zhì)在氣體中主要以0.1~20 μm懸浮顆粒或小于0.1 μm的氣溶膠形式存在。只有將氣體中的顆粒通過分離進(jìn)行排除，才能減少或消除金屬雜質(zhì)。然而，生產(chǎn)特種氣體廠家，目前一般的過濾器的孔徑1小為0.2 μm，煙臺(tái)特種氣體，無法完全消除金屬雜質(zhì)。因此，建立氣體中痕量金屬雜質(zhì)的檢測(cè)方法，對(duì)高純氣體的生產(chǎn)、儲(chǔ)存和運(yùn)輸?shù)染哂兄笇?dǎo)意義。

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