準分子激光器發(fā)展面臨的主要任務(wù)是提高輸出能量(或者,在激光核聚變的情況是提高峰值功率)和改進光束質(zhì)量。新近為了達到這些目標而發(fā)展的一個方法是使用X光預(yù)電離拉長放電激勵脈沖寬度。對于需要較短脈寬的核聚變,正在設(shè)計壓縮脈寬的幾種新技術(shù)。對其他應(yīng)用,則通過在準分子激光介質(zhì)中放大倍頻和三倍頻染料激光達到紫外窄帶寬高能輸出。 歷史 自從1975年發(fā)現(xiàn)稀有氣體鹵化物準分子激光器以來,它已經(jīng)成為在特定紫外波長上產(chǎn)生高功率輻射的主要激光器。



在大規(guī)模集成電路工藝的光刻技術(shù)領(lǐng)域,杭州準分子預(yù)混氣,為了獲得更穩(wěn)定的、更小尺寸的微加工,對激光輸出的穩(wěn)定性有很高的要求。激光氣需要在高重復(fù)頻率下流場參數(shù)保持穩(wěn)定,準分子預(yù)混氣廠家,這對激光器氣體循環(huán)系統(tǒng)的研究和設(shè)計提出了新的要求。本文用計算流體力學(xué)的理論知識和軟件對準分子氣體激光氣的內(nèi)流場進行了研究。首先,準分子預(yù)混氣生產(chǎn)廠家,介紹了準分子激光氣產(chǎn)生激光的原理及激光腔內(nèi)部的結(jié)構(gòu),分析影響準分子激光氣流場分布的主要因素,結(jié)合流體力學(xué)和風(fēng)機的知識,對風(fēng)機的選型做詳細的說明,確定了激光器氣體循環(huán)的關(guān)鍵裝置與設(shè)計原理。其次,建立激光器氣體流動腔的數(shù)學(xué)模型,主要考慮橫流風(fēng)機的結(jié)構(gòu)設(shè)計。



準分子激光氣主要應(yīng)用于外科手術(shù)用準分子激光器 。準分子激光器廣泛應(yīng)用于同位素分離、光化學(xué)、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)、微電子工業(yè)、軍事上。準分子激光器械治1療近視眼,大致分兩類,準分子預(yù)混氣批發(fā),一種是準分子激光角1膜磨削術(shù),稱為PRK,多用于中低度近視(低于600度);另一種是激光原位角1膜磨鑲術(shù);稱為Lasik,多用于深度近視,而透1視患者也適用。準分子激光氣技術(shù)指標如下
產(chǎn)品編號 平衡氣 組分氣及混合范圍 機型
ELG-X nai氣 氟氣 0.1-0.25% ya氣 3-5% Ⅰ型
ELG-V 氦氣 氟氣 0.2-0.3% ya氣9-11% nai氣20-30% Ⅱ型
ELG-C-1 nai氣 氟氣 0.1-0.2% ya氣1-3% 氦氣2-3% Ⅲ-1型
ELG-C-2 nai氣 ya氣 5-8% 氦氣2-4% Ⅲ-2型
ELG-S-1 nai氣 氟氣 0.1-0.3% ya氣 5-8% Ⅳ-1型
ELG-S-2 nai氣 氟氣 0.1-0.3% ya氣5-8% 氦氣2-4% Ⅳ-2型
ELG-N nai氣 氟氣 0.2-0.4% ya氣6-10% 氦氣25-32% Ⅴ型
ELG-B nai氣 氟氣 0.1-0.4% ya氣3-10 氦氣3-25% Ⅵ型
ELG-L nai氣 氟氣 1-0.3% ya氣2-8% 氦氣5-12% Ⅶ型
ELG-SC nai氣 氟氣 1-0.3% ya氣2-10% 氦氣3-8% Ⅷ型



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