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新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅(jiān)實(shí)支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善，影響我國集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國際競爭力。

電子特種氣體種類多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，特種氣體價(jià)格，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種，成都特種氣體，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。

目前，特種氣體廠，全球特種氣體行業(yè)市場規(guī)模較大的區(qū)域是美洲。前瞻根據(jù)2017年各大氣體巨頭發(fā)布的年報(bào)，對(duì)其在各區(qū)域取得的銷售收入進(jìn)行計(jì)算，測算出2017年美洲特種氣體市場規(guī)模約為全球市場規(guī)模的45%。隨著特種氣體行業(yè)市場規(guī)模的穩(wěn)定增長，在近幾年間全球各大氣體巨頭營收也都保持了較為穩(wěn)定的增長。未來5年，特種氣體生產(chǎn)廠家，亞太地區(qū)新興經(jīng)濟(jì)體的特種氣體需求增長快，尤其是中國和印度兩國；一些發(fā)達(dá)經(jīng)濟(jì)體的需求增速將逐漸趨緩；其它一些發(fā)展中地區(qū)（包括拉美、非洲以及中東地區(qū)）的需求增速將超過全球平均水平。同時(shí)由于新興市場經(jīng)濟(jì)增速高于成熟市場經(jīng)濟(jì)增速，因此各各大氣體巨頭在新興市場的資本支出比例也不斷提高。

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