特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域。特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準(zhǔn)確性。半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。

五月繁華似錦,萬物欣欣向榮。5月18日,中船重工718所新材料一期項目正式投產(chǎn),二期項目開工建設(shè)。筆者從該集團公司了解到,供應(yīng)特種氣體廠家,這標(biāo)志著718所三氟化氮等特種氣體產(chǎn)品產(chǎn)能將取得新的突破。
高純電子特種氣體被形容為半導(dǎo)體工業(yè)的“血液”和“糧食”,是大規(guī)模集成電路、多晶硅、太陽能、光纖等先進制造業(yè)的重要原材料,屬于國家加快扶持發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。然而早些年,相關(guān)產(chǎn)品被國外壟斷,市場定價權(quán)掌握在國外廠商手中。為破1解壟斷危機、搶抓市場機遇,718所于2000年組建特種氣體工程部,生產(chǎn)特種氣體公司,自籌經(jīng)費立項開展研究,于2009年成功開發(fā)出高純?nèi)T摦a(chǎn)品被列入國家“重點新產(chǎn)品”及“火炬計劃”,石家莊特種氣體,應(yīng)用于國內(nèi)大部分的半導(dǎo)體、液晶、太陽能行業(yè),并出口美國、日本、法國、德國等國家。

電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,特種氣體多少錢,但是由于其品種繁多,在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。

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