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新華社北京３月１３日電（記者張泉、劉詩平）電子特種氣體被稱作電子工業(yè)的“血液”。中船重工７１８所副所長郭建增告訴記者，７１８所將努力打造世界重要的電子特種氣體供應(yīng)商，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供堅實(shí)支撐。

電子特種氣體是三氟化氮、六氟化鎢等一系列特種氣體材料的總稱，是大規(guī)模集成電路、液晶面板行業(yè)生產(chǎn)的關(guān)鍵材料。然而，電子特種氣體過去長期被國外企業(yè)壟斷，嚴(yán)重影響我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展與產(chǎn)業(yè)鏈完善，特種氣體哪家好，影響我國集成電路、半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)品的國際競爭力。

電子工業(yè)生產(chǎn)中所需的高純氣體

隨著現(xiàn)代分析儀器的發(fā)展，國外對高純氣體的分析經(jīng)歷了離線分析(off-line)、在線分析(on-line)和原位分析(in-situ)三個階段。我國在高純氣體分析方面，包頭特種氣體，也已進(jìn)入在線分析階段，且分析檢測的靈敏度高，可以實(shí)現(xiàn)氣體中痕量金屬雜質(zhì)的分析測試 。然而，由于一些氣態(tài)樣品不能直接導(dǎo)入分析儀器進(jìn)行金屬成分的測量，特種氣體多少錢，一般需要把氣體樣品先進(jìn)行液體化，即將含有金屬雜質(zhì)的氣體樣品捕集到溶液中，以該溶液為樣品，才能選定合適的檢測手段進(jìn)行分析。由于高純氣體中的金屬雜質(zhì)含量低至ppb至ppt級，因此，生產(chǎn)特種氣體廠家，對測定時使用的取樣方法(防止樣品污染)、檢測方法以及分析測試儀器(靈敏度和檢測限等)均提出了更高的操作要求。本文綜述了電子氣體中金屬雜質(zhì)的一些捕集方法以及幾種不同的檢測方法。

LED產(chǎn)業(yè)的特種氣體市場需求

　　目前，全球每年對高純電子氣體的需求速度遞增，2009年全球LED用高純度特種氣體市場規(guī)模已達(dá)20億美元。美國Air Product、Praxair、德國Linder、法國Air Liquid、日本昭和等幾大氣體公司在全球市場占有壟斷地位，年產(chǎn)能高達(dá)數(shù)千噸。

　　近年來隨著光電子、微電子技術(shù)的發(fā)展，特別是氮化jia技術(shù)的突破，對特種氣體的需求和技術(shù)要求愈來愈高。越來越多的生產(chǎn)廠家和用戶開始關(guān)注原材料的質(zhì)量及其對生產(chǎn)、銷售和企業(yè)經(jīng)濟(jì)效益帶來的影響。

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