電子特種氣體是以氣態(tài)形式存在于電子產(chǎn)品制造過程的特殊材料,之所以稱之為“特殊”,因為它們要求超純超凈,特種氣體批發(fā),而且大部分有毒腐或者易燃等性質(zhì)。對雜質(zhì)的要求,氣體圈子任路先生這樣說道,1個PPB的SPEC要求,相當于對雜質(zhì)的要求是體積為120m i *90m*30m的3個足球場的空間內(nèi)不允許出現(xiàn)一個shai子(1cm長寬高的)雜質(zhì)!

電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細分領(lǐng)域整合開啟進口替代新征程。2016 年全球半導體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達到 36.8 億美元,合肥特種氣體,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計到 2020 年將突破 68 億元。電子特種氣體行業(yè)集中度高,以美國空氣化工、美國普萊克斯、德國林德集團、法國液化空氣和日本大陽日酸株式會社為首的五大氣體公司占有全球 90%以上的電子特種氣體市場份額。

電子特種氣體種類多,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導體整個制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%,但是由于其品種繁多,特種氣體銷售,在半導體制程工藝中覆蓋廣泛,因此成為衡量半導體技術(shù)的核心產(chǎn)品。在制備特種氣體供應(yīng)環(huán)節(jié)所涉及的市場依然是國內(nèi)外公司積極布局的方向。特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積(CVD)用氣體、載運稀釋氣體七類。

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