1、特種氣體 specialily gas
用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。
2、特種氣體系統(tǒng) speciality gas system
特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場的特種氣體的儲存、輸送與分配全過程的設備、管道和部件的總稱。
3、特種氣體間 speciality gas room
是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備,特種氣體供應,并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。

市場的表現(xiàn)是行業(yè)發(fā)展利好形勢的有力證明。近期,武漢特種氣體,業(yè)內(nèi)企業(yè)、地方政府在電子特種氣體行業(yè)“大展拳腳”。凱美特氣擬3.1億元成立子公司,布局電子特種氣體領域;重慶產(chǎn)特種氣體首1次出口蘇丹,助力“一帶一路”建設;大理建滇西1大特種氣體供應項目。這些都為電子特種氣體行業(yè)的開拓孕育了新的發(fā)展契機。
根據(jù)有關數(shù)據(jù)顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是,從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據(jù)絕1對的領1先地位。可喜的是,隨著新技術、新成果不斷涌現(xiàn),將加速我國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展,特種氣體廠家,我國的特種氣體產(chǎn)業(yè)需求有望持續(xù)增長。

特種氣體:關于高純CO及高純CH4生產(chǎn)技術
(一)技術簡介
該項技術利用化工、醫(yī)1藥等行業(yè)的各類廢氣資源生產(chǎn)高純 CO 及高純 CH4 技術,應用于特種氣體領域。
(二)技術特點
1、產(chǎn)品純度高
采用雙塔精餾技術,克服變壓吸附只能將純度提至 99% 的行業(yè)技術難題。該技術是國內(nèi)首套采用精餾裝置生產(chǎn)高純CO及 CH4的技術,能將 CO及 CH4產(chǎn)品純度提高至 99.999%。
2、裝置高度集成
裝置采用 1臺冷箱,同時具備生產(chǎn)高純 CO及高純 CH4 能力。

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