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準(zhǔn)分子激光（英文：Excimer laser）是一種紫外氣態(tài)激光，處于激發(fā)態(tài)的稀有氣體和另一種氣體（稀有氣體或鹵素）結(jié)合的混合氣體形成的分子，向其基態(tài)躍遷時(shí)發(fā)射所產(chǎn)生的激光，稱為準(zhǔn)分子激光。準(zhǔn)分子激光屬于低能量激光，無熱效應(yīng)，是方向性強(qiáng)、波長純度高、輸出功率大的脈沖激光，光子能量波長范圍為157－353納米，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)，壽命為幾十納秒，屬于紫外光。常見的波長有157nm、193 nm、248 nm、308 nm、351-353 nm。

使用準(zhǔn)分子激光技術(shù)所進(jìn)行的工業(yè)加工任務(wù)各不相同，這就促使了準(zhǔn)分子激光氣體在準(zhǔn)分子激光技術(shù)產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上，所有的應(yīng)用都要求具有高可靠性，準(zhǔn)分子預(yù)混氣體，激光壽命更長，運(yùn)轉(zhuǎn)成本更低。在三方面主要應(yīng)用的促進(jìn)下，激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術(shù)進(jìn)步。新一代的準(zhǔn)分子激光器維護(hù)間隔時(shí)間更長，準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng)商，自動(dòng)調(diào)節(jié)能力更先進(jìn)，所需支的擁有成本也更低。

目前準(zhǔn)分子激光已廣泛應(yīng)用在臨床醫(yī)學(xué)以及科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用方面，濟(jì)南準(zhǔn)分子預(yù)混氣，如：鉆孔、標(biāo)記表面處理、激光化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、磁頭與光學(xué)鏡片、硅晶圓的清潔、微機(jī)電系統(tǒng)相關(guān)的微制造技術(shù)等等。

準(zhǔn)分子激光于90年代始在醫(yī)學(xué)上得到運(yùn)用，主要有：

眼科：使用193nm準(zhǔn)分子激光進(jìn)行LASIK手術(shù)，矯治屈光不正（近視、遠(yuǎn)視、散光）。

皮膚：使用308nm準(zhǔn)分子激光治1療白1癜風(fēng)、銀屑1病和過敏性皮炎。

心血管:準(zhǔn)分子激光在心血管疾病中主要用于治1療冠心1病、周圍血管疾病、心臟瓣膜病、先天性1心臟病和肥厚性心肌病等。

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