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準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov， V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體，產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)為172nm。

1975年包括美國(guó)政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心，Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室，成都準(zhǔn)分子預(yù)混氣，和美國(guó)桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。

1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺(tái)商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。

迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。

產(chǎn)品名稱(chēng)：準(zhǔn)分子激光氣體（Excimer Laser Gases)

其他名稱(chēng)：氟化ya激光氣體（193nm）；氟化ke激光氣體（248nm）；氯化氙激光氣體（308nm）

工業(yè)技術(shù)的升級(jí)轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長(zhǎng)的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準(zhǔn)分子激光的誕生，準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司，以其高光子能量所稱(chēng)著，在對(duì)突破材料限制需求越來(lái)越迫切的時(shí)代，準(zhǔn)分子激光器再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的前沿。作為當(dāng)今較有效、較可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表，準(zhǔn)分子激光器有效地1推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車(chē)制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石打標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長(zhǎng)型工業(yè)中的技術(shù)革新。

準(zhǔn)分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài)，準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家，由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價(jià)電子層必須是全滿(mǎn)的（比如稀有氣體）。如果兩種原子都處于基態(tài)，它們是不能形成化學(xué)鍵的。但如果價(jià)電子全滿(mǎn)的那個(gè)原子處于激發(fā)態(tài)，它們之間就能夠暫時(shí)形成化學(xué)鍵。盡管這種化學(xué)鍵的壽命往往非常短，只在納秒的量級(jí)。準(zhǔn)分子可以通過(guò)自發(fā)輻射或受激輻射，釋放出光子回到基態(tài)，基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定，經(jīng)過(guò)幾個(gè)皮秒的時(shí)間，衰變成兩個(gè)未成鍵的原子。

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