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如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。目元激光混合氣體的方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到輸出功率，并且切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質(zhì)量。

Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽，都是中性原子激光的自動介質(zhì)。它們的蒸汽中，常混入低壓力的惰性氣體，以提高放電效率。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。在激光焊接中，保護氣體會影響焊縫成型、焊縫質(zhì)量、焊縫熔深及熔寬，極大多數(shù)情況下，吹入保護氣體會對焊縫產(chǎn)生積極的影響作用，但是也可能會帶來不利的作用。

中性原子激光中，常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著，所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優(yōu)越的同調(diào)性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地)，使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。在激光焊接中，保護氣體會影響焊縫成型、焊縫質(zhì)量、焊縫熔深及熔寬，極大多數(shù)情況下，吹入保護氣體會對焊縫產(chǎn)生積極的影響作用，但是也可能會帶來不利的作用。如果將氦（He）氖（Ne）激光作為代氣體激光，二氧化碳激光混合氣體是第二代氣體激光，在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆矗↘rF）激光，可稱為第三代激光。

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