重要的準分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質,如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時形成的。近年來CO2激光加工設備雖然漸趨普及,但激光畢竟是一種新的工具,激光加工技術亦不同于傳統(tǒng)的加工方法,所以工業(yè)界在引進使用CO2激光器的過程中,曾經(jīng)遇到各種各樣的問題,給很多廠商造成不少困擾。20W機型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中,強而常用的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm,強的是647.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中,有將氬氣與氪氣混合的機型。






氣體激光器的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此,對激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。 銅蒸汽激光產(chǎn)品可發(fā)生100W以上的綠光(511 nm)及黃光(578 nm),金蒸汽激光則可得數(shù)十瓦的紅光 (628 nm)。這兩種激光有很多用途,例如血紫質衍生物(Hemoporphyrin derivative)吸收光譜的峰值約為628 nm,而癌細胞能吸收此物質。此物質受到628 nm的激光光照耀后會分化,發(fā)生可癌細胞的物質。不過,銅蒸汽激光激起染料激光,也可得到這種光,而不必依托金蒸汽激光。此外,578 nm的激光能夠除去某些胎記,作用優(yōu)于用氬離子激光。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍綠光激起染料激光。

目元激光混合氣體的方案組成比例:CO:4%,CO2:8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到的輸出功率,并且切割鋼板厚度達到25mm,還可以更好的保證工件質量。中性原子激光與離子氣體激光的差別,在于前者的激光光來自中性原子能階之間的躍遷,后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波長屬于紅外線波段,后者則在可見光和紫外線區(qū)。激光切割機用的激光混合氣體,二維激光切割機床用的四元激光混合氣體,主要用于鋼材的鈑金加工。

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