合肥工業(yè)特種氣體-安徽譜純：

 隨著國產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場(chǎng)份額的70%左右。特種氣體應(yīng)用于國民經(jīng)濟(jì)的很多行業(yè), 它在電子行業(yè)、石油化工、醫(yī)1藥等各領(lǐng)域發(fā)揮著巨大的作用。我國特種氣體經(jīng)過30余年的發(fā)展, 無論在氣體品種上,還是在數(shù)量上, 都以的速度發(fā)展, 生產(chǎn)的品種基本上滿足了市場(chǎng)的需求。

   電子特種氣體種類多，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 電子特種氣體在半導(dǎo)體整個(gè)制程應(yīng)用中成本占比僅為 5%~6%，但是由于其品種繁多，在半導(dǎo)體制程工藝中覆蓋廣泛，因此成為衡量半導(dǎo)體技術(shù)的核心產(chǎn)品。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，僅2016年，中國特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。特種氣體是由兩大類氣體組成的。一類為單元高純氣體,另一類為混合氣體。對(duì)于單元高純氣體,根據(jù)現(xiàn)已收集到的文獻(xiàn),匯總起來共有227種,可分成五個(gè)類別。

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