特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料,根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途,可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。






特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環(huán)境溫度≤40℃為佳。特種氣體的重要性:電子特種氣體決定了集成電路的終良率和可靠性。由于電子氣體用途多,用量大。所以電子氣體也直接決定了 終芯片的良率和可靠性,

特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。滅菌特種氣體主要應用于(繃帶、縫線及手術器具)、包裝、紡織品、橡塑制品、化妝、糧食等產(chǎn)品及貯藏方面的殺菌。

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