特種氣體 specialily gas:用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多,在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計,消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。






目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù),以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。

特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學(xué)研究、自動 化技術(shù)、精密檢測,特別是微電子技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導(dǎo)體領(lǐng)域生產(chǎn)的特種氣體。特種標(biāo)準(zhǔn)氣體嚴(yán)格意義上應(yīng)稱為標(biāo)準(zhǔn)校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準(zhǔn)確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)之一,故又稱為氣體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。

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