特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優(yōu)化性能以及降低成本。特種氣體廣泛應用于半導體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。






特種氣體 specialily gas:用于各種電子產品生產的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質期,天然1氣公司已經開發(fā)出各種技術,以1小化任何局部活性位點在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。

特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類,是隨著近年來工業(yè)、科學研究、自動 化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發(fā)展而發(fā)展起來的。特種氣體種類:廣義的“電子氣體”指可用于電子工業(yè)生產中使用的氣體,是重要原材料之一, 狹義的“電子氣體”特指可用于電子半導體領域生產的特種氣體。特種標準氣體嚴格意義上應稱為標準校正氣體,是一種高度均勻,穩(wěn)定性良好和量值準確的氣體,它可以是單一的純氣體或高純氣體,也可以是由多組分氣體配制而成的混合氣體。標準氣體屬于標準物質之一,故又稱為氣體標準物質。

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