




工業(yè)上,把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多,大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大,南京特種氣體,但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小,但根據(jù)不同的用途。特種氣體興起于60年代中期,特種氣體價格,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展,其應用范圍也越來越廣泛。特種氣體是電子工業(yè),特種氣體廠家,特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體,該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向,這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。


自80年代1開始,我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世,其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離


特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備,特種氣體廠,一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。自80年代1開始,我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世,其品種數(shù)目已與國外發(fā)達國家水平相近。


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