




特種氣體存放
針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體,通常設計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi),再通過管道將氣體供應至現(xiàn)場附近的閥門箱,特種氣體廠,而后再進入制程機臺的使用點,于進入機臺腔體之前,會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機,以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制,通常此氣體控制盤不屬于廠務系統(tǒng)的設計范疇,而是歸屬制程機臺設備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤進行供應。


特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設備,并通過管道向用氣設備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。

特種氣體系統(tǒng):簡單供氣系統(tǒng)
由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(<50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動切換,手動吹掃,手動放空,電子特種氣體,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房,西安特種氣體,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道,或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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