合肥特種氣體-安徽譜純(在線咨詢)-電子特種氣體：

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電子氣體是超大規(guī)模集成電路、平板顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不可或缺的原材料。在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，特種氣體廠，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子氣體。電子氣體成本占IC材料總成本的5%~6%。電子氣體的純度對芯片質(zhì)量有很大的影響。在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體，它是當今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。

特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，合肥特種氣體，以上分類存在交叉，特種氣體廠家，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

特種氣體管道試壓

1、試壓前將不能與管道一起試壓的設(shè)備及壓力系統(tǒng)不同的管道系統(tǒng)用盲板隔離，應(yīng)將不宜與管道系統(tǒng)一起試壓的管道附件拆除。臨時裝上短管。

2、管道上所有開口應(yīng)封閉，系統(tǒng)內(nèi)的閥門應(yīng)開啟;系統(tǒng)1高點應(yīng)設(shè)放氣閥，1低點應(yīng)設(shè)排水閥。

3、試壓時，應(yīng)用精度等級1.5級以上的壓力標2只，表的量程應(yīng)為1大被測壓力的1.5~2倍，一只裝在試壓泵出口，另一只裝在本系統(tǒng)壓力波動較小的其他位置。

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