




特種氣體的運(yùn)輸及其安全技術(shù)
運(yùn)輸?shù)臏?zhǔn)備工作
1.確定車(chē)輛 。
(1)按照公路運(yùn)輸車(chē)輛法的檢查標(biāo)準(zhǔn)檢查車(chē)輛的配備情況.
(2)把規(guī)定的警戒標(biāo)志掛在容易看見(jiàn)的地方。
2.確定攜帶櫥品
(1)文件
①汽車(chē)駕駛許可證及汽車(chē)檢驗(yàn)證;
②高壓氣體輸運(yùn)監(jiān)視人學(xué)習(xí)結(jié)業(yè)證(必要時(shí))}
③輸運(yùn)計(jì)劃書(shū)(或輸運(yùn)注意事項(xiàng)), :
④車(chē)輛運(yùn)行日記及其它業(yè)務(wù)上必要的文件。
⑤劇1毒物品轉(zhuǎn)讓書(shū)(運(yùn)輸劇1毒物品時(shí))。


特種氣體輸送管道系統(tǒng)的施工
在現(xiàn)場(chǎng)施工時(shí),周?chē)沫h(huán)境會(huì)對(duì)潔凈管道有污染的危險(xiǎn)性,因此應(yīng)盡可能地在臨時(shí)凈化間內(nèi)施焊,特種氣體種類(lèi),減少現(xiàn)場(chǎng)焊接點(diǎn)的數(shù)量。在全自動(dòng)脈沖氬弧焊焊接過(guò)程中,如果管內(nèi)殘留有氧氣或水分,則在焊接部位會(huì)形成氧化膜,特種氣體價(jià)格,變成微粒發(fā)生源,所以,在焊接過(guò)程中及焊接前后,用高純氮?dú)獬浞种脫Q管內(nèi)的氧氣或水分是非常重要的。焊接保護(hù)氣體經(jīng)過(guò)0.05um過(guò)濾器過(guò)濾。現(xiàn)場(chǎng)每完成好一部分管道,合肥特種氣體,兩端閥門(mén)必須關(guān)緊(如沒(méi)有閥門(mén),管內(nèi)就應(yīng)一直充著氬氣保護(hù))在管道施工過(guò)程中難免會(huì)有微粒進(jìn)人管道系統(tǒng)內(nèi),管路系統(tǒng)的吹掃是一個(gè)必不可少的過(guò)程;高純氣體管道用高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃,先吹主干管,其次吹支干管,特種氣體供應(yīng)商,zui后吹掃各支管。

特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)
簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單,通常不需要連續(xù)性供氣,對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。
惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒(méi)有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。


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