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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，高純度特種氣體價格，例如按照氣體本身化學成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術(shù)難題，南京特種氣體，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。

特種氣體管道的施工

施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點

現(xiàn)場的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，高純度特種氣體，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁；拆除包裝的管道，預(yù)制好的管道，管口是不是封好；（管道封口應(yīng)套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好；如果沒有管帽，特種氣體供應(yīng)商，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。）焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。

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