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特種氣體系統(tǒng)：簡單供氣系統(tǒng)

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，廣東特種氣體，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，工業(yè)特種氣體，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，工業(yè)特種氣體多少錢，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體在進(jìn)樣中的注意事項(xiàng)

取樣管線的選擇，由于膠管使用起來很方便，很多傳統(tǒng)的進(jìn)樣管線都采用此類，但是眾所周知，膠管對(duì)大部分有機(jī)氣體，和含硫類的氣體吸附性非常強(qiáng)，而且它的滲透性也很強(qiáng)，所以使用各類膠管來采樣是不可取的，對(duì)分析數(shù)據(jù)造成很大偏差。建議根據(jù)不同的氣體性質(zhì)采用銅管、不銹鋼管、四氟管而對(duì)于含硫的特種氣和樣品氣zui好采用內(nèi)涂石英的不銹鋼管。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。

預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高，特種氣體多少錢，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

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