




特種氣體的用途
1、氣體產(chǎn)品質(zhì)量控制。氣體分析儀器用標(biāo)準(zhǔn)氣為定量標(biāo)準(zhǔn)保證測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性,從而控制氣體產(chǎn)品質(zhì)量符合國(guó)家或行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
2、報(bào)警儀器的檢定與校準(zhǔn)。
3、大氣環(huán)境污染監(jiān)測(cè)。定期校準(zhǔn)用于環(huán)境監(jiān)測(cè)的各類儀器儀表。
4、醫(yī)1療衛(wèi)生及臨床化驗(yàn)。如血液氣體分析、肺功能測(cè)定、細(xì)菌培養(yǎng)、呼吸代謝測(cè)定、放1射性示蹤器、外1科激光手續(xù)、孕婦分娩等。。
5、建筑家居環(huán)境監(jiān)測(cè)。校準(zhǔn)用于檢測(cè)室內(nèi)建筑裝飾裝修材料中的有害物質(zhì),如甲1醛、氨等的儀器設(shè)備。

特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),深圳特種氣體,需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,特種氣體廠家,在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,特種氣體供應(yīng)商,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),工業(yè)特種氣體廠家,中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒有三通。后管道還要有良好的接地。


特種氣體的分類
近年來我國(guó)微電子、光電子等電子信息產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,促使這一塊所需使用氣體的飛速發(fā)展。由于微電子、光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)氣體的使用要求極高,所以我們特將這個(gè)領(lǐng)域所使用的特種氣體叫電子特氣。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導(dǎo)體發(fā)光二極管(LED)、液晶面板、光纖、IC、半導(dǎo)體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。主要包括:
1、硅族氣體:含硅基的硅i烷類。
2、摻雜氣體:含硼、磷、shen等三族及五族原子之氣體。
3、蝕刻清洗氣體:以含鹵化物及鹵碳化合物為主。
4、反應(yīng)氣體:以碳系及氮系氧化物為主。
5、金屬氣相沉積氣體:含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬。

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