安徽譜純氣體(圖)-工業(yè)特種氣體-烏魯木齊特種氣體：

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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，烏魯木齊特種氣體，又屬于外延氣體，同時在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，特種氣體多少錢，對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審﹣→施工組織編寫﹣→預(yù)制間的搭設(shè)﹣→施工機(jī)具的準(zhǔn)備﹣→施工人員的培訓(xùn)﹣→預(yù)制圖紙的編寫﹣→管道的預(yù)制﹣→管道的現(xiàn)場安裝﹣→系統(tǒng)檢測﹣→系統(tǒng)驗收

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，工業(yè)特種氣體多少錢，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來，特種氣體廠商，應(yīng)設(shè)有防爆墻，儲存室陰涼、通風(fēng)、防曬，有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作

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