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特種氣體的分類

特種氣體的分類方式很多種，武漢特種氣體，例如按照氣體本身化學成分可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學氣相沉積（CVD）用氣體、載運稀釋氣體七類。同時，工業(yè)特種氣體，以上分類存在交叉，例如四氯1化硅（SiCl4）既屬于硅系氣體，又屬于外延氣體，特種氣體多少錢，同時在化學氣相沉積(CVD)中也存在應用。

特種氣體的介紹

特種氣體根據氣體性質不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據供應包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

特種氣體它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精1確性和準確性。電子特氣的使用行業(yè)主要有太陽能電池片、半導體發(fā)光二極管（LED）、液晶面板、光纖、IC、半導體分立器件、線路板等高精尖行業(yè)。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，特種氣體生產廠家，采用1先進的工藝制程設備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應、純度控制和安全生產提出嚴格的要求。

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